天马微电子股份有限公司无尘车间设计改造和二次配工程

天马微电子股份有限公司，证券代码000050，国内显示面板行业上市头部企业，基地布局多地，专注新型显示器件研发制造，拥有规模化生产制造基地，在中小尺寸显示面板领域具备重要行业影响力，对半导体生产环境、车间洁净度管控有着严苛标准。

介绍工程项目

本次落地天马微电子无尘车间设计改造、水电气二次配工程项目，属于半导体生产车间升级类项目，涵盖无尘车间装修、洁净车间设计施工、百级无尘车间改造、车间水电气二次配工程多个板块，充分贴合半导体行业对于洁净厂房环境的硬性规范。 1、百级车间改造，面积约500平方米。百级无尘车间是半导体芯片、显示面板核心制程的关键生产空间，百级无尘车间改造过程围绕洁净围护结构、高效过滤送风系统、压差梯度管控、温湿度恒定控制开展，严格遵循半导体洁净厂房建设规范，完成原有老旧车间拆除、围护板材重装、净化空调系统调试、气流组织重新规划，实现百级洁净等级的生产环境，满足面板核心制程生产作业条件，属于无尘车间设计装修典型改造类项目，适配高精密半导体产品生产环境要求。 2、部分车间水电气二次配工程。半导体的生产车间要求水电气供给稳定连续，不能出现断供、压力波动、介质污染等问题。本次水电气二次配工程覆盖工艺冷却水、压缩空气、纯水、配电、工艺气体管路排布，对接现有主站系统，完成设备端末端点位接驳，管路做防腐、接地、标识分区处理，匹配半导体洁净车间施工标准，保障面板生产设备24小时连续运行，属于GMP净化车间设计装修、洁净车间设计施工配套的核心辅助工程，和厂房中央空调、车间通风净化系统协同运行，保障整套洁净厂房系统稳定。

项目实施过程中同步联动车间原有厂房中央空调系统，针对改造区域做空调风量重新核算，兼顾高效机房建设思路，优化空调送风能耗，落实空调节能相关设计，避免改造后车间空调能耗大幅上涨，把无尘车间装修、净化系统、中央空调工程公司配套服务做一体化落地，统筹百级无尘车间现有设备保护、新旧系统对接，规避改造对原有在产产线带来干扰。

施工重点与难点分析

第一，百级车间改造属于在产车间局部改造施工，车间其余区域仍维持半导体产品正常生产，施工粉尘、噪音、交叉污染会直接影响周边百级、千级生产区域洁净度，是本次无尘车间设计改造首要难点。施工阶段做好物理隔离围挡，搭建密闭施工隔离区，设置独立排风过滤装置，施工物料经过外部预处理之后再转运进施工区域，切割、打磨工序全部移至隔离围挡内部作业，每日施工结束完成现场吸尘净化，防止施工扬尘扩散到已投产洁净区域，严格管控车间压差，避免负压倒灌污染现有产线。

第二，500㎡百级无尘车间气流组织调试难度较高。百级无尘车间对气流流向、风速均匀度、过滤器密封性要求高，属于无尘车间装修当中等级较高的洁净空间。改造完成之后，需要逐台检测高效过滤器检漏，调整净化空调送回风布局，平衡车间内部不同点位压差，稳定控制车间温度、湿度，保障全区域洁净等级达标，不能出现局部涡流、死角积尘，配合厂房中央空调设计参数反复调试，兼顾空调节能改造需求，在满足洁净指标前提下控制风机能耗。

第三，半导体生产车间水电气二次配工程管线复杂，点位繁多。半导体生产车间工艺冷却水、工艺气体、电力、纯水多套管线并行，原有建筑内部管线布局密集，新做二次配管路需要避让原有管线，同时满足洁净车间施工规范，管路坡度、支架、接地、介质纯度防护都有明确要求。所有管路焊接、接头处理做好密封性测试，分系统分段打压检漏，杜绝泄漏风险，保障半导体生产设备不间断介质供给，一旦管线出现泄漏，会直接造成精密生产设备损坏。

第四，新旧系统兼容对接。改造项目不是从零新建，需要和厂区原有中央空调安装、净化主机、动力水电气总站对接，不能改动总站核心设备参数。施工前期完成完整现场勘测，采集原有系统运行参数，二次配接口位置、负载容量反复核算，避免新增负载造成原有主机过载，实现新改造百级车间、二次配系统和厂区既有基础设施平稳联动。

工期管控也是一大挑战，客户生产计划排期紧凑，局部改造窗口期有限，需要分多段错峰施工，部分高风险作业安排在停产窗口期实施，合理拆分工序，洁净围护施工、净化空调系统、二次配管线、检漏调试工序有序穿插，压缩现场施工周期，降低对企业生产节奏的干扰。

客户评价

天马微电子项目负责人表示：本次百级无尘车间改造及水电气二次配工程，项目团队前期勘测细致，充分理解半导体显示行业洁净厂房生产要求，面对在产车间改造的各类复杂限制条件，方案考虑周全。现场施工管理规范，严格落实洁净车间施工防护措施，有效规避施工对周边产线带来的污染风险，百级洁净等级、水电气二次配各项指标通过检测验收。项目实施期间沟通响应及时，能够配合厂区生产节奏调整施工计划，交付结果达到项目预期，后续有无尘车间设计装修相关需求，愿意继续保持合作。