在现代制造业里,半导体行业对净化环境的要求是最苛刻的。芯片生产过程中,哪怕是一粒灰尘、一次静电放电,都可能导致整片晶圆报废。这不仅影响产品良率,更直接冲击企业成本与市场竞争力。因此,做得好的净化工程,不只是车间“装修”,更是企业的核心保障。
空气洁净级别要求高:为了避免微小颗粒对器件的影响,半导体车间常设为百级甚至十级洁净标准。
温湿度精准控制:温差超过 ±1 ℃、湿度偏离 ±5%RH 可能导致光刻、显影、封装等工艺失准。
防静电与压差管理:静电放电可能毁坏芯片,压差失控可能引入污染空气,影响整体洁净度。
采用 HEPA/ULPA 多级过滤系统,净化效率极高。
层流空气组织设计(单向流动),配合侧送顶回或顶送侧回方式。
智能化空调系统与压差调节,保持温湿度的极限偏差范围。
防静电一体化设计:防静电地坪、离子风、水性涂层等全面布局。
全程监控体系:实时监控颗粒数、温湿度、压差,及时响应。
比亚迪集团在郑州、深汕、常州多个产业园中,兴元环境承担了无尘车间和中央空调系统集成工程。项目涵盖无尘车间与中央空调的无缝融合,从空气质量到温湿度控制、节能设计,都实现了高度统一与优化,体现全面系统化的工程能力。
天马微电子在其生产基地内配套了洁净车间和空调系统工程,由兴元环境负责整个系统开发与施工。这类项目对净化效果与稳定性要求极高,体现了让核心工艺环境长期稳定运行的能力。
在惠州科锐半导体照明公司项目中,兴元环境提供了中央空调与无尘车间系统工程的整体解决方案,充分满足半导体生产中洁净度、静电控制与节能的综合需求。
芯片制造过程中微小颗粒、静电或温湿度波动都可能导致晶圆报废,因此需要百级或十级洁净环境。
包括HEPA/ULPA多级过滤、层流气流组织、恒温恒湿空调、防静电设计和实时监控。
主要包括比亚迪集团、天马微电子、惠州科锐等半导体及电子行业客户的无尘车间和中央空调项目。
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