超高效空气过滤器（ULPA）

超高效空气过滤器是千级净化工厂空气质量保障的核心利器。相较于普通过滤器，它能捕捉直径≥0.12μm 的微粒，过滤效率高达 99.999% 以上。其采用特殊的玻璃纤维或聚四氟乙烯材料，通过静电驻极等工艺，极大增强了对微小粒子的吸附拦截能力。在芯片光刻、精密电子组装等生产环节，ULPA 过滤器能有效阻挡污染物，防止因微粒附着导致产品出现瑕疵，为高精度生产筑牢防线。

组合式空气处理机组

组合式空气处理机组承担着千级净化工厂空气全面处理的重任。它集成了初效过滤、中效过滤、表冷、加热、加湿、除湿等多种功能模块。通过科学设计的空气处理流程，先将室外新风经过多级过滤，去除大部分尘埃颗粒，再根据车间生产需求，精确调节空气的温度与湿度。机组还具备智能控制系统，可实时监测并自动调整运行参数，确保车间内空气始终维持在稳定的温湿度环境和洁净度标准，为生产活动提供适宜的空气条件。

 千级净化工厂现场图

层流送风单元（FFU）

层流送风单元是实现千级净化工厂局部高洁净度环境的关键设备。它由高效空气过滤器、风机和静压箱组成，可在车间内灵活布置。工作时，FFU 产生稳定的单向层流气流，以均匀的风速自上而下或水平流动，迅速带走工作区域内产生的污染物，形成洁净的工作空间。在半导体晶圆制造、生物制药无菌操作等对洁净度要求苛刻的工序中，FFU 能为关键操作区域提供持续稳定的洁净气流，有效避免产品受到二次污染，保障产品质量的可靠性。

洁净层流罩

洁净层流罩专为千级净化工厂内局部高洁净度需求设计。它通过高效过滤器和风机系统，在罩内形成垂直或水平的单向洁净气流，使罩内空间达到更高的洁净等级。在药品无菌分装、精密仪器检测等操作过程中，洁净层流罩可直接覆盖在操作台面上方，为操作人员和设备提供一个独立的洁净环境，有效隔离外界污染源，确保操作过程的无菌性和产品的高精度要求。

智能风淋室